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产品名称:
TL1400 高真空管式炉型号:
TL1400最小起订量:
1
产品摘要:
TL1400 高真空管式炉以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,最高温度可达1400度。
- 产品描述
- TL1400高真空管式炉主要描述：TL1400高真空管式炉以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10 -3 Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。密封系统： 该炉炉管与法兰之间采用双层硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。真空系统：分子泵机组。炉膛材料：采用氧化铝纤维炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。加热元件：采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低，使用使用长。漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。供气系统：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。TL1400高真空管式炉技术参数：
型号 TL1400-CI TL1400-C-II TL1400-C-III 功率 4KW 4KW 6KW 炉管尺寸(mm) 直径60（OD）X1000mm 直径80（OD）X1000mm 直径100（OD）X1000mm 外形尺寸 6100X490X800 610X490X800 610X550X850 电源电压 220V/380V 相数 单相 加热元件 硅碳棒 真空炉管内真空度 8X10 -4 控温方式
2台仪表各自控制
采用宇电程序控温仪表
1、30段程序控温只能PID调节。
2、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。3，带有485通讯接口（选购软件时标配）4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。5，仪表具有温度自整定的功能
FP93控温仪表（日本岛电）（更换进口仪表，需要另外付费）1、40段程序控温可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段，2,6组PID控制，低，中，高温可以各用一组PID，这样每个温度段都能够控制得很准确。3、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。4，仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择5，带有485通讯接口（选购软件时标配）6，具有自动停机功能7，可以储存多组程序，使用时可以任意调出。8、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。9、仪表上有输出功率、程序执行的段数和执行时间、程序处于升温、恒温、降温状态的显示。10，仪表具有跳步功能（即仪表可以跳个这一步直接执行下一步。11，仪表具有温度自整定的功能。
控温模式 智能PID 断偶保护和显示 有 过温保护 有 过流保护 有 炉膛材料 氧化铝多晶体纤维（氧化铝含量95%以上）日本进口
进口炉膛 VS 国产炉膛
控制精度 +/- 1 ℃ 触发器 移相触发 电器 浙江正泰 可控硅 106/16E 德国西门康 最高温度 1400 ℃ 额定温度 1350 ℃ 升温速率 ≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） 推荐升温速率 ≤10 ℃/ Min 热电偶型号 S型 加热段长度 300mm 真空法兰 
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
普通法兰 卡套式法兰（选购）
认证 
四周表面温度 ≤45℃ TL1400高真空管式炉CVD系统详细技术参数 ：机组输入电压 380V / 220V 波纹管 KF40X1000 真空挡板阀 KF40 机箱尺寸 600X600X600 分子泵 分子泵型号 FJ620 输入电压 380V （方案一） 分子泵进气口法兰 DN160 分子泵抽气速率L / S（对空气） 600 分子泵 分子泵极限压强（PA） 6×10 -7 冷却方式 水冷 （方案一） 冷却水压（兆帕） 0.1-0.2 冷却水温度 <25℃ 分子泵 环境温度 0〜40℃ 建议启东压强 <100Pa时 前机真空泵RVP-6 功率 0.75KW 电压 380V （方案一） 转速 1450rpm 进气口径 KF25 / KF40 前机真空泵RVP-6 前机泵抽气速率（L / S） 6 极限压强 4X10 -2帕 德国普发真空泵
电压 220V 功率 110W （方案二） 极限真空度（在无泄露时） <1E-8毫巴 抽气接口 KF40 德国普发真空泵
（方案二）重量 150KG 前机泵抽速 0.9米 3 / H 抽气速率（N 2） 33L / S 复合真空计 复合真空计型号 ZDF 电源 220V 55W 复合真空计 控制精度 ±1％ 真空计测量范围 10 -5 -10 5 霸
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